测量十氟化二硫气体用什么流量计

十氟化二硫（SF6）气体测量可选用以下流量计类型：

法米特热式质量流量计

基于热传递原理，直接测量质量流量，不受压力、温度或粘度影响，适合实验室和工业精密测量。 ‌

法米特科氏力质量流量计

利用科氏效应直接测量质量流量，精度高，适用于多种气体，包括SF6。 ‌

法米特超声波流量计

非侵入式设计，无移动部件，适合腐蚀性或高纯度气体。 ‌

法米特涡街流量计

基于卡门涡街原理，适用于气体、液体或蒸汽的体积流量测量，需注意介质特性校准。 ‌